发明名称 |
一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具 |
摘要 |
本发明公开了一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具,包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板;所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔;所述弹性板上设置有弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔;所述弹性机构包括第一半岛形结构和第二半岛形结构,第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状,并分别向弹性机构平面的上下面翘起。本发明可以低成本地实现样品的一个需镀膜表面与掩膜板掩膜开孔边缘紧贴,以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分,从而提高镀膜产品的品质。 |
申请公布号 |
CN105908124A |
申请公布日期 |
2016.08.31 |
申请号 |
CN201610522031.2 |
申请日期 |
2016.07.05 |
申请人 |
浙江大学昆山创新中心 |
发明人 |
冯斌;李东滨;王德苗;金浩 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具,其特征在于:包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板;所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔;所述弹性板上设置有多个弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔;所述弹性机构的水平截面面积与掩膜开孔的水平截面面积相同,包括第一半岛形结构和第二半岛形结构,第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状,并分别向弹性机构平面的上下面翘起。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市祖冲之南路1699号 |