环状化合物、其制造方法、组合物以及抗蚀图案形成方法

摘要

分子量为500～5000的式（1）所示的环状化合物、其制造方法、包含其的组合物以及使用了该组合物的抗蚀图案形成方法。（式（1）中、R⁰中的至少一者为包含碘原子的一价基团）。

主权项

一种环状化合物，其为分子量500～5000的式(2)所示的环状化合物，式(2)中，R¹分别独立地为氢原子、氰基、硝基、取代或者未取代的杂环基、卤素原子、取代或者未取代的碳数1～20的直链状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数3～20的支链状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数3～20的环状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数6～20的芳基或取代或者未取代的碳数1～20的烷基甲硅烷基，R²分别独立地为氢原子、羟基、氰基、硝基、取代或者未取代的杂环基、卤素原子、取代或者未取代的碳数1～20的直链状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数3～20的支链状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数3～20的环状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数6～20的芳基、取代或者未取代的碳数7～30的芳烷基、取代或者未取代的碳数1～20的烷氧基、取代或者未取代的碳数1～20的链烯基、取代或者未取代的碳数1～20的酰基、取代或者未取代的碳数2～20的烷氧基羰基、取代或者未取代的碳数1～20的烷酰基氧基、取代或者未取代的碳数7～30的芳酰基氧基或取代或者未取代的碳数1～20的烷基甲硅烷基，R’为下述式(3)所示的基团，R⁴分别独立地为氢原子、氰基、硝基、取代或者未取代的杂环基、卤素原子、取代或者未取代的碳数1～20的直链状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数3～20的支链状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数3～20的环状脂肪族烃基、取代或者未取代的碳数6～20的芳基、取代或者未取代的碳数1～20的烷氧基或取代或者未取代的碳数1～20的烷基甲硅烷基，R²或者R⁴中的至少一者为包含碘原子的一价基团，其中，所述式(3)中的R⁴中的至少一者为碘原子、由碘原子取代的碳数1～6的直链状脂肪族烃基或由碘原子取代的碳数3～6的支链状脂肪族烃基。