折反射式光刻照明中继镜组

摘要

一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照明。

主权项

一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，其特征在于该镜组由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，其位置关系是：沿光束入射方向，依次是所述的折射透镜组、孔径光阑、球面反射镜阵列，且所述的折射透镜组、孔径光阑和球面反射镜阵列相对光轴呈轴对称放置，所述的孔径光阑设置在所述的球面反射镜阵列的前方5mm处，所述的孔径光阑的中心与球面反射镜阵列的中心均位于光轴上；在垂直于入射光并在折射透镜组的左边一定距离处放置平面反射镜，该平面反射镜的法线与光轴成45°夹角，该平面反射镜的中心与光轴的距离和物面中心与光轴的距离相等；所述的折射透镜组由依次的第一透镜、第二透镜、第三透镜组成，所述的第一透镜和第二透镜在折射光路中将入射光线汇聚至第三透镜，降低了数值孔径，有效地校正了场曲，并保证物方实现远心；所述的第三透镜在折射光路中将光线发散至球面反射镜阵列，让球面反射镜阵列分配更多的光焦度，提高曝光视场；所述的第一透镜、第二透镜和第三透镜在反射光路中把光线汇聚在平面反射镜上，校正了由球面反射镜阵列引起的球差，并保证像方实现远心；所述的球面反射镜阵列由多个完全相同的球面反射镜组成，均为边长为3mm的六边形球面反射镜，每个球面反射镜为凹面反射镜，或凸面反射镜，反射镜表面镀有反射率可变的高反膜。