一种基板检测装置

摘要

本实用新型提供一种基板检测装置，属于基板检测技术领域，其可解决现有的基板边缘缺陷检测效率低，易漏检的问题。本实用新型的基板检测装置中，承载台与基板边缘之间设有多个垫块，所述垫块包括空心垫块，其中的空心垫块用于与基板相邻的面设有凹部，所述凹部连接气体管道，通过气体管道抽吸凹部的空气，根据凹部真空吸附值差异感知基板边缘的缺陷，该基板检测装置检测方便，且检测效率高、精度高，不易出现漏检。本实用新型的基板检测装置适用于检测各种显示基板。

主权项

一种基板检测装置，其特征在于，包括：承载台，用于承载基板；多个垫块，设置于所述承载台上与基板边缘对应的位置，其中，所述垫块包括空心垫块，所述空心垫块与基板相邻的面设置有凹部，所述凹部连接气体管道，所述气体管道用于抽吸凹部的空气。