| 发明名称 | 一种微波等离子谐振腔 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种微波等离子谐振腔，其包括金属腔，该金属腔的顶部的中间设有一调节结构，该调节结构的内部设有一气体入口通道，该金属腔的底部设有一基台以及两个对称设置的气体出口通道，所述两个气体出口通道设于所述基台的两侧，所述气体入口通道对准所述基台的中心位置。 | ||
| 申请公布号 | CN205398725U | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201620167387.4 | 申请日期 | 2016.03.04 |
| 申请人 | 中国兵器科学研究院宁波分院 | 发明人 | 李晓静;郑顺奇;郑阳升 |
| 分类号 | C23C16/511(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/511(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人 | 郭晓华 |
| 主权项 | 一种微波等离子谐振腔，其包括金属腔，其特征在于，该金属腔的顶部的中间设有一调节结构，该调节结构的内部设有一气体入口通道，该金属腔的底部设有一基台以及两个对称设置的气体出口通道，所述两个气体出口通道设于所述基台的两侧，所述气体入口通道对准所述基台的中心位置。 | ||
| 地址 | 315103 浙江省宁波市科技园区凌云路199号 | ||