用于晶圆的刷洗装置

摘要

本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置。所述用于晶圆的刷洗装置包括：用于支撑晶圆的支撑件；第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相对地且间隔开地设置以分别用于刷洗所述晶圆的两个表面；和丝杠组件，所述丝杠组件与所述第一毛刷和所述第二毛刷均相连，所述丝杠组件带动所述第一毛刷和所述第二毛刷在与所述晶圆的两个表面正交的方向上移动。根据本发明实施例的用于晶圆的刷洗装置具有刷洗效果好等优点。

主权项

一种用于晶圆的刷洗装置，其特征在于，包括：用于支撑晶圆的支撑件；第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相对地且间隔开地设置以分别用于刷洗所述晶圆的两个表面；和丝杠组件，所述丝杠组件与所述第一毛刷和所述第二毛刷均相连，所述丝杠组件带动所述第一毛刷和所述第二毛刷在与所述晶圆的两个表面正交的方向上移动，所述丝杠组件包括：丝杠，所述丝杠包括第一螺纹段和第二螺纹段，所述第一螺纹段的螺纹旋向与所述第二螺纹段的螺纹旋向相反，其中所述丝杠的长度方向与所述晶圆的两个表面正交；驱动件，所述驱动件与所述丝杠相连以便驱动所述丝杠旋转；以及第一毛刷支座和第二毛刷支座，所述第一毛刷支座可移动地设在所述第一螺纹段上且与所述第一毛刷相连，所述第二毛刷支座可移动地设在所述第二螺纹段上且与所述第二毛刷相连。