| 摘要 |
Equipo para fabricación de láminas delgadas mediante el proceso de recubrimiento por rotación. Los equipos convencionales carecen de un sistema de control de los parámetros del proceso, que permita monitorizar en continuo sus variables, al tiempo que controle la seguridad del proceso y los usuarios, y memoricen estas variables para asegurar la replicabilidad del proceso. Las características principales de la invención son: - Sujeción del sustrato mediante una ventosa acoplada al eje de transmisión de giro de la máquina, activada por un sistema generador de vacío integrado en el interior del citado eje de transmisión. - Alimentación eléctrica del generador mediante un conjunto de anillos rozantes de bajo nivel de fricción, que además permiten la transmisión de la señal del sensor de vacío. - Doble sistema de nivelación compuesto por una corona de nivelación y sustentación, y apoyos regulables. - Monitorización en continuo del nivel de vacío y de vibraciones. |
