宽范围精密定容气体温度计

摘要

一种在宽的温度范围上以高的精度测量温度的定容气体温度计(CVTG)装置包括压力测量装置(13)，所述压力测量装置(13)包括形成薄膜(4)的机械组件。毛细管(3)与薄膜(4)的底侧(5)连通，并且在薄膜(4)上的第一压力测量元件(2)依赖于薄膜(4)的变形产生信号。此外，CVTG包括用于读取所述第一压力测量元件(2)的信号和使所述第一压力测量元件(2)的信号与贮气筒(1)的温度相关的电子装置(18)。通过精心设计和紧密公差使在压力测量装置(13)内的气体体积最小化。为了以足够的精度测量CVGT内低于0.1MPa的压力，CVGT包括基于Pirani测量原理的压力测量装置(9)。Pirani测量装置测量周围气体的热导率。为此，在周围气体在环境温度下的同时，热绝缘线或表面被电气加热至限定的温度。如果周围气体的热导率改变，则Pirani元件的温度改变，或者需要调整电气加热功率以便维持Pirani元件的温度。

主权项

一种定容气体温度计(CVGT)，包括贮气筒(1)、压力测量装置(13)和毛细管(3)，所述毛细管(3)将所述贮气筒(1)连接至所述压力测量装置(13)，其特征在于，所述压力测量装置(13)包括：机械组件(6)，其形成薄膜(4)，其中，所述毛细管与所述薄膜(4)的底侧(5)连通；在所述薄膜(4)上的压力测量元件(2)，其依赖于所述薄膜(4)的变形产生信号；以及电子装置(18)，用于使所述压力测量元件(2)的信号与所述贮气筒(1)的温度相关联。