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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Magnetronanordnung (100) Folgendes aufweisen: eine erste Magnetronkathode (102a) mit einer ersten Magnetanordnung, welche einen ersten Plasmabereich (108a) unterhalb der ersten Magnetronkathode definiert; eine zweite Magnetronkathode (102b) mit einer zweiten Magnetanordnung, welche einen zweiten Plasmabereich (108b) unterhalb der zweiten Magnetronkathode definiert; einen ersten Anodenträger (104a), welcher oberhalb der ersten Magnetronkathode angeordnet ist; einen zweiten Anodenträger (104b), welcher oberhalb der zweiten Magnetronkathode angeordnet ist; und einen Gaskanal (106) mit mindestens einer Gasaustrittsöffnung zum Versorgen der beiden Magnetronkathoden (102a, 102b) mit einem Prozessgas, wobei der Gaskanal oberhalb der beiden Magnetronkathoden (102a, 102b) angeordnet ist. |
