一种用于晶圆目检的显微镜

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆目检的显微镜，涉及半导体制造设备技术领域，包括目镜、物镜、载物台，所述目镜与物镜通过筒体连接，所述筒体通过支架与载物台相连接，所述载物台上安装有底座，所述底座为可拆卸底座，所述底座的两边带有平行卡槽，有含有框架的晶圆从载物台右端平行插入底座上的卡槽中。本实用新型用于晶圆目检的显微镜，通过在显微镜的载物台上安装有可拆卸的带有平行卡槽的不锈钢底座，含有框架的晶圆从载物台右端平行插入底座上的卡槽中，不仅可以有效预防物镜对晶圆造成刮伤，而且晶圆放入动作符合人体工学原理，操作简单、方便易行。

主权项

一种用于晶圆目检的显微镜，包括目镜、物镜、载物台，所述目镜与物镜通过筒体连接，所述筒体通过支架与载物台相连接，其特征在于：所述载物台上安装有底座，所述底座为可拆卸底座，所述底座的两边带有平行卡槽，有含有框架的晶圆从载物台右端平行插入底座上的卡槽中。