半导体装置

摘要

明提供一种确保半导体装置之可靠度的半导体装置。该半导体装置具备：基板；絶缘膜，埋入该基板，具有复数开口部；复数虚拟扩散层20，设置于位在复数开口部内之基板；复数电阻元件10，在电阻元件形成区域40中，以俯视时不与虚拟扩散层20重叠的方式设置于絶缘膜上，并往第1方向延伸；以及复数虚拟电阻元件12，在电阻元件形成区域40中，设置于絶缘膜上及虚拟扩散层20上，并往第1方向延伸；虚拟电阻元件12，俯视时，与于第2方向排列的至少二个虚拟扩散层20重叠，该第2方向与第1方向于基板在水平面内垂直。

主权项

一种半导体装置，具备：基板；絶缘膜，埋入该基板，具有复数开口部；复数虚拟扩散层，设置于位在该复数开口部内之该基板；复数电阻元件，在电阻元件形成区域中，以俯视时不与该虚拟扩散层重叠的方式设置于该絶缘膜上，并往第1方向延伸；以及复数虚拟电阻元件，在该电阻元件形成区域中，设置于该絶缘膜上及该虚拟扩散层上，并往该第1方向延伸；该虚拟电阻元件，俯视时与在第2方向排列的至少二个该虚拟扩散层重叠，该第2方向和该第1方向于该基板在水平面内垂直；该复数虚拟扩散层，设置于俯视时与该虚拟电阻元件重叠的区域，且未设置于该电阻元件形成区域中的其他区域。