雷射加工机、雷射加工机之工件歪斜补正方法

摘要

更提升藉由雷射加工机所进行之雷射加
工的精度。
为一种雷射加工机，其构成系具备：支
撑体，其系支撑被加工物；雷射光照射装置，其系朝向被上述支撑体支撑之被加工物照射雷射光；控制部，其系参照藉由照相机感测器对被支撑于上述支撑体之被加工物进行摄像之画像，检测出被标示在被加工物的复数之对准标记之位置，得知各对准标记之原本应有的位置和实际检测出之各对准标记之位置的误差，并且使用各对准标记之位置之误差而算出某对准标记和其他之对准标记之间之处的假设性位置之误差，并且根据该些位置之误差，决定于雷射加工时为了将雷射光照射至被加工物上之期待之目标照射位置，应对雷射光照射装置供给之指令的补正量。

主权项

一种雷射加工机，具备：支撑体，其系支撑被加工物；雷射光照射装置，其系朝向被支撑于上述支撑体之被加工物照射雷射光；控制部，其系参照藉由照相机感测器对被支撑于上述支撑体之被加工物进行摄像之画像，检测出被标示在被加工物上，且被分布配置在上述雷射光照射装置所致之雷射光的照射可能范围的至少十个对准标记的位置，得知各对准标记之原本应在的位置和实际检测出之各对准标记之位置的X轴方向误差及Y轴方向误差，并且使用各对准标记之位置之X轴方向误差及Y轴方向误差而分别生成表现在上述照射可能范围内之任意处中之X轴方向误差及Y轴方向误差之分布的X轴方向误差之近似式及Y轴方向误差之近似式，并使用藉由该近似式所算出之任意处之X轴方向误差及Y轴方向误差决定于雷射加工时用以将雷射光照射至上述被加工物上之期待的目标照射位置之指令的补正量。