| 发明名称 |
APPARATUS FOR ETCHING SEMICONDUCTOR WAFERS |
| 摘要 |
반도체 장치의 웨이퍼 페데스탈이 제공된다. 웨이퍼 페데스탈은 기판을 지지할 수 있다. 웨이퍼 페데스탈은 퍼지 가스를 유동하도록 구성된 하나 이상의 퍼징 개구 및 페데스탈 위에 기판을 척킹하도록 구성된 하나 이상의 척킹 개구를 가지는 페데스탈을 포함한다. 페데스탈은 하나 이상의 퍼징 개구와 하나 이상의 척킹 개구 사이에 배치되는 밀봉 밴드를 포함한다. 밀봉 밴드는 기판을 지지하도록 구성된다. |
| 申请公布号 |
KR101605853(B1) |
申请公布日期 |
2016.03.24 |
| 申请号 |
KR20107028217 |
申请日期 |
2009.05.08 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
루보미르스키, 드미트리;탄, 티엔, 팍;추에이, 룬 |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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