薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置

摘要

本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置，属于显示技术领域。解决了现有的薄膜晶体管中的Cgs和Cgd较大的技术问题。该薄膜晶体管形成于衬底基板上，包括栅极、有源层、源极和漏极，栅极包括第一部分、第二部分和第三部分，第一部分和第三部分分别位于第二部分的两侧，第一部分与源极的位置相对应，第三部分与漏极的位置相对应；衬底基板上形成有两个凹陷，第一部分和第三部分分别位于两个凹陷中；第一部分和第三部分上方覆盖有填充层；填充层和第二部分上方覆盖有栅绝缘层；有源层设置于栅绝缘层上；源极和漏极位于有源层上方，且均与有源层相连。本发明可应用于液晶电视、手机、平板电脑等显示装置。

主权项

一种薄膜晶体管，包括栅极、有源层、源极和漏极，且所述薄膜晶体管形成于衬底基板上，所述源极和所述漏极位于所述有源层上方，且均与所述有源层相连，所述栅极包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第一部分和所述第三部分分别位于所述第二部分的两侧，所述第一部分与所述源极的位置相对应，所述第三部分与所述漏极的位置相对应；所述第一部分和所述第三部分上方覆盖有填充层；所述填充层上方覆盖有栅绝缘层；其特征在于：所述衬底基板上形成有两个凹陷，所述第一部分和所述第三部分分别位于所述两个凹陷中；所述第二部分上方覆盖有栅绝缘层；所述有源层直接设置于所述栅绝缘层上。