发明名称 基于光纤FP干涉仪的压力传感器的制作方法
摘要 本发明涉及光纤应用技术领域,尤其涉及一种基于光纤FP干涉仪的压力传感器的制作方法。所述方法包括如下步骤:将两光纤的待熔接端面涂抹液体并进行熔接,使涂抹的液体在熔接过程中气化并在熔接后的光纤中形成气泡;将熔接后的光纤从所述气泡所在部位截断,使所述气泡分成两个,并分别位于截断后所形成的两光纤的端部;此时初步形成两个基于光纤FP干涉仪的压力传感器,所述气泡即为初步形成的压力传感器的FP腔;实时监测靠近所述光纤端部的气泡壁的厚度,并调节该气泡壁的厚度,使其低于设定值。采用本发明所提供的技术方案制作的基于光纤FP腔的压力传感器,采用全光纤式结构,可避免电磁干扰。同时,其结构及制作工艺简单,可靠性高、灵敏度高。
申请公布号 CN103954387B 申请公布日期 2016.03.02
申请号 CN201410173102.3 申请日期 2014.04.25
申请人 深圳大学 发明人 王义平;廖常锐;刘申
分类号 G01L1/24(2006.01)I;G01L11/02(2006.01)I 主分类号 G01L1/24(2006.01)I
代理机构 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 代理人 陈健
主权项 一种基于光纤FP干涉仪的压力传感器的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:将两光纤的待熔接端面涂抹液体并进行熔接,使涂抹的液体在熔接过程中气化并在熔接后的光纤中形成气泡;将熔接后的光纤从所述气泡所在部位截断,使所述气泡分成两个,并分别位于截断后所形成的两光纤的端部;此时初步形成两个基于光纤FP干涉仪的压力传感器,所述气泡即为初步形成的压力传感器的FP腔;实时监测靠近所述光纤端部的气泡壁的厚度,并调节该气泡壁的厚度,使其低于设定值。
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