发明名称 セラミック部材およびこれを用いた半導体製造装置用部材、ならびにマーキング方法
摘要
申请公布号 JP5872989(B2) 申请公布日期 2016.03.01
申请号 JP20120214490 申请日期 2012.09.27
申请人 京セラ株式会社 发明人 山之口 秀則
分类号 C04B41/80 主分类号 C04B41/80
代理机构 代理人
主权项
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