| 摘要 |
기판을 다수의 부분들로 분리시키기 위해 (기판을 가공하는 레이저의 레이저 빔이 기판 상에 지향됨), 시트형 기판을 레이저로 기반하여 가공하는 방법은, 레이저의 광선들의 경로에 위치한 광 장치를 이용하여, 빔 방향을 따라 볼 시에, 뻗어나간 레이저 빔 초점 라인이 레이저 빔 (광 장치상으로 지향됨)으로부터 광 장치의 빔 출력 측면 상에 형성된 것을 특징으로 하며, 이때 상기 기판은 레이저 빔 초점 라인에 대해 위치되고, 그 결과 유도 흡수는 빔 방향으로 볼 시에, 레이저 빔 초점 라인의 뻗음부를 따라 기판 내부에서 기판 물질에 만들어짐으로써, 물질 변형은 이러한 뻗음부를 따라 기판 물질에서 일어난다. |
