大气压诱导空气介质阻挡放电低温等离子体发生装置

摘要

本发明旨在提供一种大气压诱导空气介质阻挡放电低温等离子体发生装置。该装置包括具有介质阻挡放电电极结构的放电单元和接于放电单元前端的窄缝腔体，所述放电单元包括相对设置的两个平板电极，在高压电极的内侧平面固定设置有用以限制两平板电极之间放电电流的绝缘介质平板；待处理样品为平板状，与绝缘介质平板平行相对、活动安装于接地电极的内侧平面上；所述窄缝腔体具有用以接入诱导气体的进气端口和窄缝状的出气端口，出气端口嵌入绝缘介质平板与待处理样品之间。本发明的等离子体发生装置能够产生均匀弥散的等离子体，该等离子体富含亚稳态氮分子、氢氧基和氧原子等活性物种，可以用来进行物质表面改性和灭菌消毒等。

主权项

一种大气压诱导空气介质阻挡放电低温等离子体发生装置，其特征在于：包括具有介质阻挡放电电极结构的放电单元和接于放电单元前端的窄缝腔体，所述放电单元包括相对设置的两个平板电极，其中一个为高压电极，另一个为接地电极，在高压电极的内侧平面固定设置有用以限制两平板电极之间放电电流的绝缘介质平板；待处理样品为平板状，与绝缘介质平板平行相对、活动安装于接地电极的内侧平面上；所述窄缝腔体具有用以接入诱导气体的进气端口和窄缝状的出气端口，出气端口嵌入绝缘介质平板与待处理样品之间，两平板电极正对的放电空间的其他几个方向自然敞开使得大气中的空气作为工作气体；所述出气端口与有效放电区域保持1mm～1cm的距离；窄缝腔体的出气端口的横向长度不小于平板电极的横向长度。