基于柔性放大原理的压电驱动尺蠖式定位工作台

摘要

本发明涉及一种基于柔性放大原理的压电驱动尺蠖式定位工作台。它由导向调节机构和尺蠖式运动平台组成。导向调节机构以交叉滚子导轨对定位工作台进行导向，通过基准挡板、调节挡板及调节螺钉保证尺蠖式运动平台沿着导轨正常运动。尺蠖式运动平台中柔性机构的钳位部分采用对称式杠杆放大结构，中间驱动部分采用复合桥式结构。通过时序控制尺蠖式运动平台上的三个压电陶瓷的伸长和缩短完成工作台的直线行走动作。本发明涉及的尺蠖式定位工作台具有行程大、分辨率高、承载能力大、运动速度快、定向性好等特点。

主权项

一种基于柔性放大原理的压电驱动尺蠖式定位工作台，包括导向调节机构（1），尺蠖式运动平台（2），其特征在于：所述尺蠖式运动平台（2）与导向调节机构（1）内侧连接，通过尺蠖式运动平台（2）内压电陶瓷的时序控制使尺蠖式运动平台(2)沿着导向调节机构（1）作尺蠖式直线行走和定位；所述导向调节机构（1）包括一个基座（3）、一个基准挡板（4）、一个调节挡板（5）、两副交叉滚子导轨（6）和4个调节螺钉（7）组成；所述基准挡板（4）与调节挡板（5）通过螺钉分别固定于基座（3）的上、下两侧，两副交叉滚子导轨（6）的上半部分的外侧导轨以基准挡板（4）的内侧作为基准紧贴而固定于基座（3）上，两副交叉滚子导轨（6）的下半部分的外侧导轨通过螺钉与基座（3）相连，该螺钉初始不能旋紧，应使得交叉滚子导轨（6）的下半部分的外侧导轨的位姿可调；两副交叉滚子导轨（6）的内侧导轨与尺蠖式运动平台（2）固连；该所述4个调节螺钉（7）从外侧面旋入调节挡板（5）的四个螺纹孔而顶着两副交叉滚子导轨（6）下半部分外侧导轨；调节螺钉（7）调节每副交叉滚子导轨（6）的上、下部分的间距、平行度及交叉滚子导轨（6）的内部间隙，直至尺蠖式运动平台（2）能够正常运动，然后旋紧上述初始不能旋紧的螺钉，使交叉滚子导轨（6）的下半部分的外侧导轨与基座（3）紧固相连。