发明名称 | 一种产生大面积冷等离子体的装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种产生大面积冷等离子体的装置,所述装置包括网状或条状的内电极与外电极、带有微孔阵列的介质板和气室,所述内、外电极紧贴介质板两侧,介质板上的微孔位于电极的条状或网状间隙的中间位置。所述气室用于储存放电所需的给料气体,气室与介质板相接,气流通过管道流入,并通过介质板上的微孔流出,进入到等离子体区域产生活性粒子。所述装置在高压电源的激励下能够产生大面积、均匀、接近室温的等离子体,通过控制气室中给料气体的成分与流速,可以调控等离子体化学,提高所需活性粒子的产生效率,促进活性粒子传质作用于等离子体之外的被处理物,并降低放电电压与温升,从而更加适用于生物医学、材料表面处理、环境保护等领域。 | ||
申请公布号 | CN105246241A | 申请公布日期 | 2016.01.13 |
申请号 | CN201510727491.4 | 申请日期 | 2015.10.30 |
申请人 | 西安交通大学 | 发明人 | 孔刚玉;王冰川;张治权;刘定新 |
分类号 | H05H1/24(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/24(2006.01)I |
代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人 | 张晓霞 |
主权项 | 一种产生大面积冷等离子体的装置,其特征在于:所述装置包括:网状或条状的外电极、网状或条状的内电极、带有微孔阵列的介质板、高压电源和气室;所述气室用于储存放电所需的给料气体,气室与介质板相接,所述气室中的给料气体通过介质板上的微孔阵列流出,进入到等离子体区域产生活性粒子;所述内电极与外电极布置于介质板内外两侧,介质板上的微孔阵列位于内外电极的条状或网状间隙中间;在高压电源的激励下,外电极产生沿面放电与射流放电相结合的等离子体。 | ||
地址 | 710049 陕西省西安市咸宁西路28号 |