| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR THE PREPARATION OF SILANES |
| 摘要 |
본 발명은 플라즈마에서 모노실란을 전환시킴으로써 이량체성 및/또는 삼량체성 실란을 제조하는 방법 및 이 방법을 수행하기 위한 설비에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20160002830(A) |
申请公布日期 |
2016.01.08 |
| 申请号 |
KR20157030657 |
申请日期 |
2014.02.28 |
| 申请人 |
EVONIK DEGUSSA GMBH |
发明人 |
LANG JUERGEN ERWIN;RAULEDER HARTWIG;MUEH EKKEHARD |
| 分类号 |
C01B33/04;B01J12/00;B01J19/08;C07F7/02 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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