发明名称 脆性材料基板之边材分离方法及边材分离装置
摘要 明之课题在于确实地将沿纵向及横向整齐排列地形成有功能区域、且形成有划线之基板之周围的边材分离。
申请公布号 TW201601206 申请公布日期 2016.01.01
申请号 TW104111827 申请日期 2015.04.13
申请人 三星钻石工业股份有限公司 发明人 太田欣也
分类号 H01L21/301(2006.01);C03B33/023(2006.01) 主分类号 H01L21/301(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项 一种脆性材料基板之边材分离方法,其系分离脆性材料基板之功能区域之周围之边材之边材分离方法,且上述脆性材料基板为:于其中一面具有沿纵向及横向以特定之间距形成之功能区域,且以上述功能区域位于中心之方式呈格子状形成有划线;且该脆性材料基板之边材分离方法为:将上述脆性材料基板保持于边材分离台上,该边材分离台于上表面具有相当于上述脆性材料基板之整个功能区域之形状之弹性板,从上部保持相当于上述脆性材料基板之整个功能区域之区域,藉由使与上述脆性材料基板之边材之位置对应的框状推板自上述边材分离台之上部一面保持平行于脆性材料基板之状态一面下降而将边材分离。
地址 日本
您可能感兴趣的专利