一种电子束微细加工设备加速电源装置

摘要

本实用新型涉及一种电子束微细加工设备加速电源装置，其装置包括进线滤波器、低压整流桥、逆变单元、高压单元和调节器，所述进线滤波器的输入端与外部电网连接，所述进线滤波器的输出端、低压整流桥、逆变单元和高压单元的输入端依次串联，所述高压单元的高压输出端输出高压电，所述高压单元的信号端输出的高压反馈信号U送至所述调节器的第二输入端，所述调节器的第一输入端输入高压给定信号U^*，所述调节器的输出端与所述逆变单元的信号端连接。相对现有技术，本实用新型解决由于PWM变流器工作于电流断续状态导致加速电源输出端出现尖峰电压问题。

主权项

一种电子束微细加工设备加速电源装置，包括进线滤波器(1)、低压整流桥(2)、逆变单元(3)、高压单元(4)和调节器(5)，所述进线滤波器(1)的输入端与外部电网连接，所述进线滤波器(1)的输出端、低压整流桥(2)、逆变单元(3)和高压单元(4)的输入端依次串联，所述高压单元(4)的高压输出端输出高压电，所述高压单元(4)的信号端输出的高压反馈信号U送至所述调节器(5)的第二输入端，所述调节器(5)的第一输入端输入高压给定信号U^*，所述调节器(5)的输出端与所述逆变单元(3)的信号端连接；所述进线滤波器(1)，其用于接入交流电，消除电磁干扰信号在其输入端与输出端间的传递；所述低压整流桥(2)，其用于将交流电变换成不可控脉动直流电；所述逆变单元(3)，其用于将不可控直流电逆变成可控中频矩形波交流电；还用于将调节信号Uc转换成PWM信号的占空比，调整中频矩形波交流电的幅值，稳定高压输出；所述高压单元(4)，其用于将可控中频矩形波交流电进行升压和整流滤波，并输出平直的直流高压电，同时对输出高压值进行线性采样，输出作为高压反馈信号U；所述调节器(5)，其用于将高压给定信号U^*与高压反馈信号U的差值进行比例－积分(PI)运算，生成调节信号Uc。