发明名称 半导体雷射装置
摘要 得到一种即使构成反射膜之介电体膜之膜厚或反射率变动也能稳定地控制反射率的半导体雷射装置,其中,此反射膜系形成于半导体雷射端面。;半导体雷射装置除了具备反射率3.5以下之GaN基板1、基板1之上所叠积之半导体层,亦在与叠积方向垂直之方向上具有相对之一对共振器端面。在其一共振器端面设置低反射膜6,而此低反射膜6系由第1介电体膜8、第2介电体膜9、第3介电体膜10、第4介电体膜11所构成。以n1、n2、n3、n4表示反射率的话,n1=n3、n2=n4。另外,在第1介电体膜8及第3介电体膜10、第2介电体膜9及第4介电体膜11之间,系具有n d+n’d’=p λ/4(p:整数、λ:雷射光之振荡波长)之关系。
申请公布号 TWI357698 申请公布日期 2012.02.01
申请号 TW097105316 申请日期 2008.02.15
申请人 三菱电机股份有限公司 日本 发明人 川崎和重;中川康幸;松冈裕益
分类号 H01S5/028 主分类号 H01S5/028
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 日本