感测器基板及检查装置

摘要

本发明的课题是在于提供一种可提升检查精度的感测器基板。;本发明是有关非接触、且可电磁结合地对向于检查对象电极为矩阵状配列而可每一列驱动的检查对象基板之感测器基板，具有被整列的感测器电极、及至少放大各感测器电极的捕捉信号之对应于各感测器电极的感测器电路之感测器基板。设于各感测器电路内的放大电路系分别将源极接地放大电路的电阻元件置换成仅有限个直并列连接二极体化单极电晶体来构成的二极体化电晶体区块者，该二极体化单极电晶体系连接闸极与汲极而将汲极与源极间设为二极体者。