| 摘要 |
시료 관찰 장치는, 오목부인 피관찰 대상부를 포함하는 시료에, 어떤 가속 전압에 의해 하전 입자선을 조사하는 하전 입자 광학 칼럼과, 상기 하전 입자선의 조사에 의해 얻어지는 신호로부터 상기 피관찰 대상부를 포함하는 화상을 취득하는 화상 생성부와, 표준 시료에 있어서의 오목부와 그 오목부의 주변부와의 밝기비와, 상기 표준 시료에 있어서의 상기 오목부의 구조를 나타내는 값과의 관계를 나타내는 정보를, 미리 기억하는 기억부와, 상기 화상에 있어서의 상기 오목부와 상기 오목부의 주변부와의 밝기비를 구하는 연산부와, 상기 관계를 나타내는 정보와 상기 화상에 있어서의 상기 밝기비에 기초하여, 상기 피관찰 대상부에 있어서의 결함 유무를 판정하는 판정부를 구비한다. |
