发明名称 提拉泡生法生长晶体的装置
摘要 本发明涉及一种提拉泡生法生长晶体的装置,所述装置包括:夹持籽晶的复合型籽晶杆(2),所述复合型籽晶杆(2)包括可相互分离或接合的主水冷杆(19)与籽晶夹具(21),所述主水冷杆(19)和籽晶夹具(21)能够独立地上下运动和顺逆旋转运动;容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚(11);以及温场调节单元,所述温场调节单元包括发热体(7)、上保温罩(8)、侧保温层(3)和下保温层(10),所述上保温罩(8)位于所述坩埚(11)的上方且能够升降,所述发热体(7)位于所述坩埚(11)和侧保温层(3)之间。
申请公布号 CN103147121B 申请公布日期 2015.10.21
申请号 CN201310116108.2 申请日期 2013.04.03
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 陈伟超;李红军;钱小波;徐军;唐慧丽;胡克艳;王静雅;汪传勇;吴锋;唐飞
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 代理人 曹芳玲;郑优丽
主权项 一种提拉泡生法生长晶体的装置,其特征在于,包括:夹持籽晶的复合型籽晶杆(2),所述复合型籽晶杆(2)包括可相互分离或接合的主水冷杆(19)与籽晶夹具(21),所述主水冷杆(19)和籽晶夹具(21)能够独立地上下运动和顺逆旋转运动,所述复合型籽晶杆(2)还包括位于所述主水冷杆(19)和籽晶夹具(21)之间的导热弹簧(20);容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚(11);以及温场调节单元,所述温场调节单元包括发热体(7)、上保温罩(8)、侧保温层(3)和下保温层(10),所述上保温罩(8)位于所述坩埚(11)的上方且能够升降,所述发热体(7)位于所述坩埚(11)和侧保温层(3)之间。
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号