发明名称 |
提拉泡生法生长晶体的装置 |
摘要 |
本发明涉及一种提拉泡生法生长晶体的装置,所述装置包括:夹持籽晶的复合型籽晶杆(2),所述复合型籽晶杆(2)包括可相互分离或接合的主水冷杆(19)与籽晶夹具(21),所述主水冷杆(19)和籽晶夹具(21)能够独立地上下运动和顺逆旋转运动;容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚(11);以及温场调节单元,所述温场调节单元包括发热体(7)、上保温罩(8)、侧保温层(3)和下保温层(10),所述上保温罩(8)位于所述坩埚(11)的上方且能够升降,所述发热体(7)位于所述坩埚(11)和侧保温层(3)之间。 |
申请公布号 |
CN103147121B |
申请公布日期 |
2015.10.21 |
申请号 |
CN201310116108.2 |
申请日期 |
2013.04.03 |
申请人 |
中国科学院上海硅酸盐研究所 |
发明人 |
陈伟超;李红军;钱小波;徐军;唐慧丽;胡克艳;王静雅;汪传勇;吴锋;唐飞 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 |
代理人 |
曹芳玲;郑优丽 |
主权项 |
一种提拉泡生法生长晶体的装置,其特征在于,包括:夹持籽晶的复合型籽晶杆(2),所述复合型籽晶杆(2)包括可相互分离或接合的主水冷杆(19)与籽晶夹具(21),所述主水冷杆(19)和籽晶夹具(21)能够独立地上下运动和顺逆旋转运动,所述复合型籽晶杆(2)还包括位于所述主水冷杆(19)和籽晶夹具(21)之间的导热弹簧(20);容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚(11);以及温场调节单元,所述温场调节单元包括发热体(7)、上保温罩(8)、侧保温层(3)和下保温层(10),所述上保温罩(8)位于所述坩埚(11)的上方且能够升降,所述发热体(7)位于所述坩埚(11)和侧保温层(3)之间。 |
地址 |
200050 上海市长宁区定西路1295号 |