一种半导体集成电感

摘要

本发明公开了一种半导体集成电感，包括衬底、第一金属走线和第二金属走线，衬底包括第一表面和第二表面，第一表面平行设置有至少两条第一金属走线，第二表面平行设置有至少一条第二金属走线，第一金属走线和第二金属走线包括首端和末端，第一金属走线的第一条的首端为电感的第一端口，第一金属走线的最后一条的末端为电感的第二端口，衬底设置有贯穿第一表面和第二表面的晶圆通孔，晶圆通孔内填充有导电金属材料，第一金属走线的第n条的末端通过晶圆通孔连接第二金属走线的第n条的首端，第二金属走线的第n条的末端通过晶圆通孔连接第一金属走线的第n+1条的首端。具有高Q值、高电感密度特性，并且性能高、成本低。

主权项

一种半导体集成电感，包括衬底、第一金属走线和第二金属走线，其特征在于，所述衬底包括第一表面和第二表面，所述第一表面平行设置有至少两条第一金属走线，所述第二表面平行设置有至少一条第二金属走线，所述第一金属走线和第二金属走线包括首端和末端，所述第一金属走线的第一条的首端为电感的第一端口，所述第一金属走线的最后一条的末端为电感的第二端口，所述衬底设置有贯穿第一表面和第二表面的晶圆通孔，所述晶圆通孔内填充有导电金属材料，所述第一金属走线的第n条的末端通过晶圆通孔连接第二金属走线的第n条的首端，第二金属走线的第n条的末端通过晶圆通孔连接第一金属走线的第n+1条的首端。