| 发明名称 |
METHOD FOR PROCESSING COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01280324(A) |
申请公布日期 |
1989.11.10 |
| 申请号 |
JP19880110948 |
申请日期 |
1988.05.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HIROTA KOJI;ITO MICHIHARU;YAMAMOTO KOSAKU;YAMAMOTO TAMOTSU |
| 分类号 |
H01L21/36;H01L21/473;H01L27/14;H01L27/146;H01L31/0264;H01L31/08 |
主分类号 |
H01L21/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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