具有中空纤维的研磨垫及其制造方法

摘要

本发明涉及一种具有中空纤维的研磨垫及其制造方法，所述研磨垫包括一本体和复数条中空纤维。所述本体具有一研磨表面。所述中空纤维位于所述本体内且开口于所述研磨表面，其中每一中空纤维的截面的中空面积大于一研磨浆液的研磨粒子的截面积。藉此，研磨浆液和研磨粒子可经由所述中空纤维在所述研磨垫上达到全面流通。

主权项

1.一种具有中空纤维的研磨垫的制造方法，其包括以下步骤：(a)提供复数条中空纤维；(b)将所述中空纤维垂直排列于一衬底上；(c)形成一本体，以覆盖所述中空纤维，所述本体的厚度大于所述中空纤维的长度，所述本体具有一第一表面及一第二表面，所述第一表面与所述衬底相接触；和(d)移除所述衬底以形成所述研磨垫，所述研磨垫具有所述本体及所述中空纤维，所述本体的厚度大于所述中空纤维的长度，所述本体的第一表面为研磨表面。