发明名称 DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATES HAVING LARGE SURFACE AREAS
摘要 <p>Eine Vorrichtung für die Bearbeitung einer sich auf einer Nutzseite ausdehnenden Nutzfläche eines grossflächigen Substrats (11), insbesondere eines solchen mit einer Länge bzw. Breite &gt; 0.5 m und einer Dicke &lt; 1 cm, durch das Substrat hindurch, hat wenigstens drei in Abstand voneinander angeordnete Lagereinrichtungen (21,23,25) für die Aufnahme des Substrats (11) und eine bewegliche Bearbeitungseinrichtung zur Bearbeitung des Substrats zwischen den Lagereinrichtungen von der Substratrückseite her. Die Lager stützen das Substrat ab, und eine Bearbeitung des Glassubstrats kann in den wenigstens zwei Zwischenbereichen zwischen den Lagereinrichtungen von der Rückseite her erfolgen. Mindestens eine nicht-endständige Lagereinrichtung ist relativ zum Substrat verschiebbar oder bewegbar angeordnet, um durch ein Verschieben oder Bewegen die ganze Nutzfläche des Substrats der Bearbeitungseinrichtung zugänglich zu machen.</p>
申请公布号 WO2009089639(A1) 申请公布日期 2009.07.23
申请号 WO2009CH00011 申请日期 2009.01.12
申请人 IWORKS AG;BUECHEL, ARTHUR 发明人 BUECHEL, ARTHUR
分类号 B23K37/04;B23K26/00;B23K26/08;H01L31/18 主分类号 B23K37/04
代理机构 代理人
主权项
地址