发明名称 DEVICE FOR CHARACTERIZING UNIQUE OBJECTS
摘要
申请公布号 EP2047209(A1) 申请公布日期 2009.04.15
申请号 EP20070788125 申请日期 2007.08.01
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 GIDON, SERGE
分类号 G01B11/02;G03F7/20;H01L21/66 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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