发明名称 Cu-Ga合金、溅射靶、Cu-Ga合金的制造方法以及溅射靶的制造方法
摘要 一种Cu-Ga合金,溅射靶、Cu-Ga合金的制造方法以及溅射靶的制造方法。包括多个相,由重量百分比至少为40%、至多为60%的镓(Ga)以及由铜和无法避免的杂质组成的剩余部分所构成。所述的多个相包括含有重量百分比至少为80%镓(Ga)的偏析相,所述偏析相的体积占Cu-Ga合金总体积的比率不超过1%。所述的多个相包括含有重量百分比至少为40%、至多为60%镓(Ga)的微粒,所述的微粒的直径至少为0.1μm、至多30μm,所述微粒的体积占Cu-Ga合金总体积的比率不低于90%。
申请公布号 CN101906552A 申请公布日期 2010.12.08
申请号 CN201010198841.X 申请日期 2010.06.04
申请人 日立电线株式会社 发明人 平本雄一;外木达也
分类号 C22C9/00(2006.01)I;C22C28/00(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 主分类号 C22C9/00(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 钟晶
主权项 一种Cu Ga合金,其由多个相构成;所述Cu Ga合金中含有重量百分比至少为40%且至多为60%的镓,剩余部分由铜和无法避免的杂质组成;其中,所述的多个相中包括含有重量百分比至少为80%的镓的偏析相,并且所述的偏析相体积占所述Cu Ga合金的总体积的比率不超过1%。
地址 日本东京都