发明名称 |
Cu-Ga合金、溅射靶、Cu-Ga合金的制造方法以及溅射靶的制造方法 |
摘要 |
一种Cu-Ga合金,溅射靶、Cu-Ga合金的制造方法以及溅射靶的制造方法。包括多个相,由重量百分比至少为40%、至多为60%的镓(Ga)以及由铜和无法避免的杂质组成的剩余部分所构成。所述的多个相包括含有重量百分比至少为80%镓(Ga)的偏析相,所述偏析相的体积占Cu-Ga合金总体积的比率不超过1%。所述的多个相包括含有重量百分比至少为40%、至多为60%镓(Ga)的微粒,所述的微粒的直径至少为0.1μm、至多30μm,所述微粒的体积占Cu-Ga合金总体积的比率不低于90%。 |
申请公布号 |
CN101906552A |
申请公布日期 |
2010.12.08 |
申请号 |
CN201010198841.X |
申请日期 |
2010.06.04 |
申请人 |
日立电线株式会社 |
发明人 |
平本雄一;外木达也 |
分类号 |
C22C9/00(2006.01)I;C22C28/00(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
C22C9/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
钟晶 |
主权项 |
一种Cu Ga合金,其由多个相构成;所述Cu Ga合金中含有重量百分比至少为40%且至多为60%的镓,剩余部分由铜和无法避免的杂质组成;其中,所述的多个相中包括含有重量百分比至少为80%的镓的偏析相,并且所述的偏析相体积占所述Cu Ga合金的总体积的比率不超过1%。 |
地址 |
日本东京都 |