| 发明名称 | 电子束光刻对准标记在芯片上的布局 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，设置在所述第二区域的若干个对准标识符；相邻两个所述对准标识符之间设置有标识线。该布局更方便对准标记掩模板的制造，能更容易地在电子束套刻对准时寻找标记，能应用于任意大小形状的衬底，能够设置多组对准标记以满足多次电子束套刻对准曝光，而且该布局有利于提高芯片的利用率。 | ||
| 申请公布号 | CN104932212A | 申请公布日期 | 2015.09.23 |
| 申请号 | CN201410103327.1 | 申请日期 | 2014.03.19 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 牛洁斌;刘明;陈宝钦;谢常青;龙世兵;王冠亚;张建宏;李海亮;史丽娜;朱效立 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 王宝筠 |
| 主权项 | 一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，其特征在于，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，设置在所述第二区域的若干个对准标识符；相邻两个所述对准标识符之间设置有标识线。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||