一种用于器件光学和电学测量以及真空监测的集成设备

摘要

本发明属于真空光学、电学测量技术领域。具体为一种用于器件光学和电学测量以及真空监测的集成设备。本发明集成设备的主体为一气闭壳体，在壳体上安装气体止回阀、电学测试探针、透明窗和负压表等。本发明可以实现以下功能：借助手套箱的过渡仓或真空泵对器件进行有效地真空储存；持在真空环境下的器件可以轻便运输；同时安装在壳体上的电学测试探针和透明窗允许对内部储存的器件进行真空光学和电学测试；通过负压表可以实时监测壳体内部的气压状况。

主权项

一种用于器件光学和电学测量以及真空监测的集成设备，其特征在于主体为一个气闭壳体，该壳体的一侧安置有气体止回阀，该气体止回阀可借助手套箱的过渡仓或相连的真空泵抽取至真空环境，并在大气环境下有效维持内壳体真空状态；壳体的内部下方设有可供待测器件放置的插槽，壳体的一侧具有一个可开关的气密腔盖，待测器件可通过该气密腔盖放置在壳体中；在壳体上、待测器件的正面所对应区域和背面所对应区域分别设有透光视窗，允许外界光的入射，或由待测器件发光的出射，从而实施对待测器件进行光学性能测量；壳体内设有用于探测待测器件的电学测试探针及其固定装置，在壳体的一侧面设有一航空插头或其他电学接口，待测器件的电极和由与待测器件相匹配的探针固定装置相连，经配置在壳体上的航空插头或其他电学接口导出，并按需适配不同电学性能测量设备。