图案测定方法、带电粒子束装置的装置条件设定方法以及带电粒子束装置

摘要

本发明的目的在于提供一种能够高精度地测定、检查通过DSA技术形成的图案的图案测定方法以及带电粒子束装置。作为用于实现上述目的的一方式，提出了一种图案测定方法或实现该测定的带电粒子束装置，其根据在对自组装光刻技术中使用的高分子化合物照射带电粒子而使形成该高分子化合物的多个聚合物内的特定的聚合物相对于其他聚合物大幅收缩后，向包含该其他聚合物的区域扫描带电粒子束而得到的信号，进行所述其他聚合物的多个边缘之间的尺寸测定。

主权项

一种图案测定方法，其根据向试样扫描带电粒子束而得到的带电粒子的检测，执行在试样上形成的图案的尺寸测定，其特征在于，根据在对自组装光刻技术中使用的高分子化合物照射带电粒子而使形成该高分子化合物的多个聚合物内的特定聚合物相对于其他聚合物大幅收缩后，或者与收缩一起向包含该其他聚合物的区域扫描带电粒子束而得到的信号，进行所述其他聚合物的多个边缘之间的尺寸测定。