发明名称 BASE-GENERATING AGENT PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION PATTERN-FORMING MATERIAL COMPRISING THE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION PATTERN FORMATION METHOD USING THE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND ARTICLE
摘要 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 전자파의 조사와 가열에 의해 염기를 발생하는 염기 발생제에 관한 것이다. 본 발명은 감도가 우수하고 고분자 전구체의 종류를 불문하고 이용 가능한 염기 발생제이며, 본 발명의 염기 발생제를 포함하는 감광성 수지 조성물은, 노광부와 미노광부에서 큰 용해성 콘트라스트가 얻어지고, 형상이 양호한 패턴을 얻을 수 있다. <화학식 1>
申请公布号 KR101552371(B1) 申请公布日期 2015.09.10
申请号 KR20107021766 申请日期 2009.03.30
申请人 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 发明人 가따야마 마미;후꾸다 슌지;사까요리 가쯔야
分类号 C08G73/10;C09K3/00;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
主权项
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