发明名称 无掺杂剂的AlGaN基紫外发光二极管及制备方法
摘要 本发明一种无掺杂剂的AlGaN基紫外发光二极管及制备方法,其中无掺杂剂的AlGaN基紫外发光二极管,包括:一衬底;一无掺杂剂n型层,其制作在衬底上;一有源区,其制作在无掺杂剂n型层上;一无掺杂剂p型层,其制作在有源区上。本发明不用引入任何参杂剂,可以提高晶体材料质量,并简化材料的生长步骤。
申请公布号 CN104882522A 申请公布日期 2015.09.02
申请号 CN201510308850.2 申请日期 2015.06.08
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 张连;张韵;王军喜;李晋闽
分类号 H01L33/32(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/32(2010.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种无掺杂剂的AlGaN基紫外发光二极管,包括:一衬底;一无掺杂剂n型层,其制作在衬底上;一有源区,其制作在无掺杂剂n型层上;一无掺杂剂p型层,其制作在有源区上。
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