发明名称 | 形成于半导体基板上之导电凸块及其制法 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI497669 | 申请公布日期 | 2015.08.21 |
申请号 | TW101109805 | 申请日期 | 2012.03.22 |
申请人 | 矽品精密工业股份有限公司 | 发明人 | 简丰隆;林怡宏;陈宜兴 |
分类号 | H01L23/488;H01L21/60 | 主分类号 | H01L23/488 |
代理机构 | 代理人 | 陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 | |
主权项 | 一种形成于半导体基板上之导电凸块,该半导体基板上具有复数焊垫及绝缘保护层,其中,该绝缘保护层形成有复数第一开孔,以令该焊垫外露于该对应之第一开孔,该导电凸块包括:金属层,系形成于外露于各该第一开孔中之焊垫上;金属柱,系形成于该金属层上;导电材料,系形成于该金属柱上;以及其中,该导电凸块与该第一开孔的孔壁之间系具有间距,以外露出该焊垫之部分表面。 | ||
地址 | 台中市潭子区大丰路3段123号 |