发明名称 形成于半导体基板上之导电凸块及其制法
摘要
申请公布号 TWI497669 申请公布日期 2015.08.21
申请号 TW101109805 申请日期 2012.03.22
申请人 矽品精密工业股份有限公司 发明人 简丰隆;林怡宏;陈宜兴
分类号 H01L23/488;H01L21/60 主分类号 H01L23/488
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种形成于半导体基板上之导电凸块,该半导体基板上具有复数焊垫及绝缘保护层,其中,该绝缘保护层形成有复数第一开孔,以令该焊垫外露于该对应之第一开孔,该导电凸块包括:金属层,系形成于外露于各该第一开孔中之焊垫上;金属柱,系形成于该金属层上;导电材料,系形成于该金属柱上;以及其中,该导电凸块与该第一开孔的孔壁之间系具有间距,以外露出该焊垫之部分表面。
地址 台中市潭子区大丰路3段123号