| 摘要 |
Sposób obniżenia napięcia zapłonu wyładowania w reaktorze mikroplazmowym polega na tym, że przez dyszę do komory wyładowczej reaktora plazmowego podaje się gaz procesowy pod ciśnieniem 1 atm. Ze źródła promieniowania UV o względnej mocy odniesionej do warunków geometrycznych reaktora powyżej 150 mW na 1 mm odstępu między elektrodami reaktora, umieszczonego w pobliżu dyszy i emituje się promieniowanie o długości fali od 115 nm do 400 nm, korzystnie 160 nm, jonizując przestrzeń międzyelektrodową przez co obniża się wartości napięcia zapłonu wyładowania co najmniej o 20%. |
