| 发明名称 |
LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR LEVELLING AN OBJECT, AND LITHOGRAPHIC PROJECTION METHOD |
| 摘要 |
<p>기판 상에 패터닝된 방사선 빔을 투영하도록 구성된 리소그래피 장치가 개시되며, 이는: 패터닝된 대상물을 유지하도록 구성된 지지체; 및 패터닝된 대상물의 유저 영역에 존재하는 유저 영역 구조체들의 방위들 및/또는 밀도들을 검출하도록 구성된 측정 시스템을 포함한다. 앞선 청구항들 중 어느 하나에 따른 장치는 유저 영역 구조체들의 검출된 방위들 및/또는 밀도들을 이용함으로써 레벨링 정보를 발생시키도록 구성된 레벨링 정보 시스템; 및 레벨링 정보에 기초하여 패터닝된 대상물의 레벨을 위치시키도록 구성된 레벨링 시스템을 더 포함한다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101533016(B1) |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
| 申请号 |
KR20107016185 |
申请日期 |
2008.12.22 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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