| 发明名称 | 一种边沿保护装置及等离子体加工设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种边沿保护装置及等离子体加工设备。边沿保护装置包括保护环，在被加工工件被置于反应腔室内进行工艺时，保护环置于反应腔室内的被加工工件上方，用以遮盖所述被加工工件上表面的边缘区域。本发明提供的边沿保护装置，其保护环在工艺过程中被置于被加工工件的上方，遮盖被加工工件上表面的边缘区域，使该边缘区域不发生工艺反应，从而使被加工工件的边缘区域的厚度不会在工艺过程中减小，保证了被加工工件的结构强度，使被加工工件不易破碎。 | ||
| 申请公布号 | CN104733344A | 申请公布日期 | 2015.06.24 |
| 申请号 | CN201310697507.2 | 申请日期 | 2013.12.18 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 管长乐 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种边沿保护装置，其特征在于，所述边沿保护装置包括保护环，在被加工工件被置于反应腔室内进行工艺时，所述保护环置于所述反应腔室内的被加工工件上方，用以遮盖所述被加工工件上表面的边缘区域。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||