包含液晶调变器之基板检验设备;SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS INCLUDING LIQUID CRYSTAL MODULATOR

摘要

一种基板检验设备包含：一液晶调变器，被配置成设置于一基板上；一光源单元，被设置成与该液晶调变器间隔开；一分光镜，设置于该液晶调变器与该光源单元之间，用以将来自该光源之一光束反射至该液晶调变器；以及一量测单元，用以感测被该基板反射之该光束。