发明名称 Cryopump system, operation method of cryopump system and compressor unit
摘要 <p>본 발명은 확대된 작동 가스의 유량 제어 범위를 가지는 크라이오펌프 시스템, 이러한 크라이오펌프 시스템의 운전방법, 및, 이들 시스템 및 방법에서 사용하기에 적합한 압축기유닛을 제공하는 것을 과제로 한다. 크라이오펌프 시스템(100)은, 크라이오펌프(10)와, 크라이오펌프(10)를 위한 작동 가스의 압축기(52)와, 압축기(52)의 운전 주파수를 제어하도록 구성되어 있는 제어장치(110)와, 크라이오펌프(10)와 압축기(52)를 접속하는 가스라인(72)과, 가스라인의 작동 가스량을, 적어도 제1 가스량과 제2 가스량으로 전환하도록 구성되어 있는 가스량 조정부(74)를 구비한다. 가스라인(72)이 제1 가스량을 가질 때, 운전 주파수의 제어 가능 범위는 작동 가스의 제1 유량범위를 부여한다. 가스라인(72)이 제2 가스량을 가질 때, 제어 가능 범위는 작동 가스의 제2 유량범위를 부여한다. 제2 유량범위는 제1 유량범위와 비중복부분을 가진다.</p>
申请公布号 KR101527072(B1) 申请公布日期 2015.06.09
申请号 KR20140038552 申请日期 2014.03.12
申请人 发明人
分类号 F04B37/08;F25B9/14 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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