| 摘要 |
<p>垂直方向に延伸し、且つ複数の矩形の基板搭載領域(２１１)が水平方向に配列して定義された搭載面(２１０)を有し、基板搭載領域(２１１)それぞれの外周の左辺、右辺及び下辺に左辺固定ピン、右辺固定ピン及び下辺固定ピンがそれぞれ配置された基板プレート(２１)と、それぞれの主面が同一平面レベルに配置された状態で複数の矩形の基板(１００)を保持する基板保持機構(１５)、水平方向から見て基板搭載領域(２１１)に対して斜めの姿勢で、保持された複数の基板(１００)の主面を搭載面(２１０)と近接して対向させる基板移動機構(１１)、及び１つの回転軸を中心にして搭載面(２１０)に沿って複数の基板(１００)を同時に回転させる基板回転機構(１３)を有する基板搭載装置(１０)とを備える。</p> |
