| 摘要 |
<p>本発明の窒化珪素焼結体は、結晶が実質的に無配向であり、熱伝導率が１００Ｗ／ｍＫ以上であり、かつＪＩＳ Ｒ１６０１に準拠して測定された常温三点曲げ強度が５００ＭＰａ以上である。この焼結体は、窒化珪素粉末を含む原料粉末を１〜１００時間にわたり、１４００〜１７５０℃の間の一定温度下に保持するエージング工程と；エージング工程での温度から昇温速度１〜１００℃／ｈで昇温する昇温工程と；１８００〜２０００℃の間の一定温度で、３０〜６０時間にわたり焼成する焼成工程とを備える方法によって好適に製造される。</p> |
