| 主权项 |
一种具备原料浓度检测机构之原料气化供给装置，系为通过质量流控制器(3)而将载体气体(GK)供给至原料槽(5)内，并从原料槽(5)内而放出载体气体(GK)，并且将藉由以恒温部(6)来将原料槽(5)保持在一定温度所产生的原料(4)之饱和蒸气(G)以及前述载体气体(GK)之混合气体(GS)，供给至制程腔处，该原料气化供给装置，其特征为，系构成为：在从前述原料槽(5)而来之混合气体(GS)的流出通路处，设置自动压力调整装置(8)以及质量流计(9)，并藉由对于前述自动压力调整机构(8)之控制阀(8a)作开闭控制，来将原料槽(5)之内部压力(PO)控制为特定值，再将由前述质量流控制器(3)所致之载体气体(GK)的流量(Q1)和前述槽内压(PO)以及前述质量流计(9)之混合气体(GS)的流量(QS)之各检测值，输入至原料浓度演算部(10)中，在该原料浓度演算部(10)中，将原料流量(Q2)藉由Q2=QS×PMO/PO而进行演算，再使用该原料流量(Q2)，而将供给至前述制程腔之混合气体(GS)的原料浓度(K)，作为K=Q2/QS而演算出来并作显示，其中，前述(PMO)，系为原料槽内之在温度t℃时的原料气体(G)之饱和蒸气压。 |
