一种板式PECVD铜天线检测工具

摘要

一种板式PECVD铜天线检测工具，包括工具本体，所述工具本体上具有一大、一小两个圆形通孔，较大圆形通孔的内径等于铜天线本体标准直径的上限，较小圆形通孔的内径等于铜天线插入端标准直径的上限。本实用新型的检测工具可直接对铜天线进行检测，无需再将铜天线拿回生产现场一个一个测试，相对于现有技术，本实用新型不但更加方便快捷，而且不会耽搁生产，有利于缩短维护时间，提升产能，从而降低成本。

主权项

一种板式PECVD铜天线检测工具，其特征在于，包括工具本体，所述工具本体上具有一大、一小两个圆形通孔，较大圆形通孔的内径等于铜天线本体标准直径的上限，较小圆形通孔的内径等于铜天线插入端标准直径的上限。