| 发明名称 |
Perfectionnements aux méthodes de formation de couches |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR1442502(A) |
申请公布日期 |
1966.06.17 |
| 申请号 |
FR19650016070 |
申请日期 |
1965.05.06 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL STANDARD ELECTRIC CORPORATION |
发明人 |
STERLING HENLEY FRANK;SWANN RICHARD CHARLES GEORGE |
| 分类号 |
C03C17/00;C23C16/24;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/505;C23C16/507;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/00;H01L21/316;H01L21/318;H01L23/29;H01L31/0216 |
主分类号 |
C03C17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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