| 发明名称 | 照明装置、处理装置及器件制造方法 | ||
| 摘要 | 照明装置(IU)具有：第1光源部(21a)；光的射出方向与第1光源部不同的第2光源部(21b)；和以使来自第1光源部的光和来自第2光源部的光的行进方向一致的方式使光的至少一部分偏转的偏转部(22)。第1光源部和第2光源部以使从各光源部射出并经由偏转部的光所射入的照明区域沿规定方向连续地排列的方式在规定方向上配置在不同位置。 | ||
| 申请公布号 | CN104471486A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201380037678.0 | 申请日期 | 2013.05.22 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 根岸武利;福井达雄 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 陈伟 |
| 主权项 | 一种照明装置，其特征在于，具有：第1光源部；第2光源部，其光的射出方向与所述第1光源部不同；和偏转部，其以使来自所述第1光源部的光和来自所述第2光源部的光的行进方向一致的方式，使该光的至少一部分偏转，所述第1光源部和所述第2光源部以使从各光源部射出并经由所述偏转部的光所射入的照明区域在规定方向上连续地排列的方式，在所述规定方向上配置在不同位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||